濺射蒸碳儀 型號:YBT3-ETD-2000C

原理：
濺射功能依據二極(DC)直流濺射原理。濺射電流調整控制器、微型真空氣閥在工作時結
合內部自動控制電路控制真空室壓強、電離電流及任意選擇所需要的電離氣體。根據電場中
氣體電離特性，采用大容量樣品濺射真空室和相應面積濺射靶，使濺射鍍層均勻純|凈。
熱蒸發功是能通過對碳纖維繩加熱使其蒸發氣化而沉積與基體或工件表面并形成薄膜
或涂層的工藝。

濺射蒸碳儀 型號:YBT3-ETD-2000C

參數：
? 儀器尺寸 ：305mm×400mm×390mm（W×D×H）
? 真空樣品室： 硼硅酸鹽玻璃 160mm×110mm（D×H）
? 靶（上部電極）：50mm×0.1mm（D×H）
? 濺射靶材：Au
? 濺射靶材大小：φ 50mm
? 樣品臺：50mm (D)
? 濺射工作電壓：0-1600V (DC)可調
? 濺射電流：0-50mA
? 濺射定時：0-360S
? 蒸碳電流 0-100A(AC)
? 蒸發材料：碳纖維
? 蒸發工作電壓：0-30V
? 蒸發時間：0-1S
? 微型真空氣閥：可連接φ 3mm 軟管
? 可通入氣體： 多種
? 真空泵： 2 升機械旋轉泵（國產 VRD-8）
用途：
適用于電鏡實驗室的掃描電子顯微鏡（SEM）樣品制備，非導體材料實驗電極制作。
特點：
1、簡單、。
2、可調節濺射電流和真空室壓強以控制鍍膜的速率和顆粒的大小。
4、真空保護可避免真空過低造成設備短路。
5、同時可以通過換不同的靶材（金、鉑、銥、銀、銅等），以達到geng細顆粒的涂層。
6、通過通入不同的惰性氣體以達到純凈的涂層。
7、數字計時器定時方便。
8、計時器可隨時停止，觀察樣品涂層，并可繼續工作。
9、可調節樣品臺，適用于多種樣品。
10、一體機。
11、碳纖維繩細膩均勻、快速，有利于分析材料結構。
12、濺射蒸發功能一鍵切換，蒸碳附件安裝方便快|捷。